产品描述

硅晶圆外周的倒角加工以金属结合剂磨轮来进行。而大口径晶圆的凹口（NOTCH）部位的精加工则采用小口径的总形磨轮。两者都必须具备严格的形状精度及耐摩耗性，并且必须达到稳定的研磨加工状态。

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